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晶圆温度校准可溯源至NIST标准，使用恒温腔
nist 溯源标准使用等温腔晶片温度的校准
薄酥饼温度的定标到nist可追踪的标准使用一个等温洞
校准的晶片温度可追溯至NIST标准使用一个大型等温炉腔
nist 溯源标准使用等温腔晶片温度的校准
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