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预压与多个闭环极点P =2π× 80赫兹的控制器,可以应用到表,而阶段是封闭循环控制电磁执行器和10微米挤压空气膜可以得到(图5)。
与控制器的多个闭环极点处于 p = x × 80 Hz,预紧力可应用于表的阶段是闭环控制电磁驱动,而 10 μ m 压缩气膜可获得 (图 5)。
与多根闭环杆被安置p = 2π×80赫兹的控制器,预压可以被应用于桌,当阶段是闭环受控的由电磁式作动器时,并且10 μm被紧压的空气影片可以得到(图5)。
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与控制器的多个闭环极点处于 p = x × 80 Hz,预紧力可应用于表的阶段是闭环控制电磁驱动,而 10 μ m 压缩气膜可获得 (图 5)。
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