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[translate] 进一步的传感器具有机械耦合,但电绝缘导电板的第一个晶圆表面上的隔膜。
传感器进一步从导电板的第一个晶圆机械耦合,但电绝缘表面上的隔膜。
传感器更加进一步在机械上被结合,但从导电性板材电子被绝缘第一个薄酥饼的表面有一张膜片。
进一步的传感器有隔膜在表面上的晶片,第一是机械再加上但电力绝缘导电板的。
传感器进一步从导电板的第一个晶圆机械耦合,但电绝缘表面上的隔膜。
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