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错误POS.3，POS.3基板传感器未能开启。
错误 POS.3，POS.3 基板传感器失败将其打开。
错误对POS.3， POS.3失灵的基体传感器打开。
错误,pos.3、pos.3衬底传感器未能打开的。
错误 POS.3，POS.3 基板传感器失败将其打开。
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