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objects.6，7,8本文着重介绍傅里叶变换和扫描相位检测（SPD）技术检索TDI成像系统记录从变形光栅模式的形状或缺陷

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objects.6，本文集中于傅立叶变换和检索形状或瑕疵的扫描阶段侦查的7,8 (SPD)技术从TDI想象系统记录的被扭屈的刺耳样式

本白皮书重点讨论对象6,7,8 傅立叶变换和扫描阶段检测(spd)技术的形状或缺陷,检索从变形格栅的tdi成像系统的录制模式

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