Experimental data for (a) step coverage of lines, (b) step coverage of vias, and (c) depo?sition rate per unit power, ail as a function of the aspcct ratio of the collimator used的翻译：(A) 步范围的线条，(b) 步覆盖的通孔和 (c) depo?sition 率单位电力，实验数据艾里作为 aspcct 比准直仪使用的函数什么意思？中文翻译英文，英文翻译中文，怎么说？

青云英语翻译

选择语言：从到

（一）阶梯覆盖线，（二）通孔阶梯覆盖，（三）DEPO?每单位功率sition率，作为一个功能用于准直仪aspcct比AIL的实验数据

(A) 步范围的线条，(b) 步覆盖的通孔和 (c) depo?sition 率单位电力，实验数据艾里作为 aspcct 比准直仪使用的函数

实验性数据为(a)线步覆盖面， (b) vias步覆盖面和(c) depo?sition率每单位力量，痛苦作为使用的准直仪的aspcct比率功能

实验数据:(a)步骤的行范围,(b)步骤覆盖范围的通孔,和(c)阿塞拜疆“depo?率每单位功率,ailaspcct作为一个功能的使用比例的准直器

(A) 步范围的线条，(b) 步覆盖的通孔和 (c) depo?sition 率单位电力，实验数据艾里作为 aspcct 比准直仪使用的函数