Step coverage on the center-bottom of vias as a function of via aspect ratio for conven?tional and collimated deposition of Ti的翻译：通孔，通过 conven?tional 的长宽比的函数和准直的沉积钛金属中心底部步覆盖范围什么意思？中文翻译英文，英文翻译中文，怎么说？

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加强对中心孔底为conven?作和平行的钛沉积，通过长宽比的功能覆盖

通孔，通过 conven?tional 的长宽比的函数和准直的沉积钛金属中心底部步覆盖范围

步覆盖面在vias中心底部作为通过长宽比功能为conven?tional和钛的被瞄准的证言

一步的中心上覆盖的底部的一个途经点功能通过宽高比为《公约》的事宜和校准国际沉积的ti

通孔，通过 conven?tional 的长宽比的函数和准直的沉积钛金属中心底部步覆盖范围