This may, in part, be due to some slight forward scattering of the deposited atoms down the hole. Additional data for step coverage and deposition rate as a function of collimator aspect ratio are shown in Fig. 6.16.的翻译：这可能，部分是由于井下沉积原子的一些轻微的前向散射。额外的数据作为函数的准直器长宽比步覆盖面和沉积速率 6.16 图所示。什么意思？中文翻译英文，英文翻译中文，怎么说？

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这，在某种程度上，可能是由于一些轻微的沉积原子在井下的前向散射。一步的覆盖面和沉积速率的准直器的宽高比功能的额外的数据显示图。 6.16。

这可能，部分是由于井下沉积原子的一些轻微的前向散射。额外的数据作为函数的准直器长宽比步覆盖面和沉积速率 6.16 图所示。

这也许，一部分，归结于一些轻微向前驱散被放置的原子在孔下。另外的数据为步覆盖面和沉积率作为准直仪长宽比功能显示在。 6.16.

这可能部分由于一些轻微向前散射的存入原子的孔。更多的数据的覆盖范围和沉积率步作为一个准直器功能的宽高比显示在图。 6.16。

这可能，部分是由于井下沉积原子的一些轻微的前向散射。额外的数据作为函数的准直器长宽比步覆盖面和沉积速率 6.16 图所示。