A slightly different approach uses grazing-angle ion beam bombardmeni during deposition to selectively etch the deposited films from the top areas of the sample, while the shadowed areas within the deeper features are protected (6.2].的翻译：稍有不同的方法使用放牧角度离子束 bombardmeni 在沉积过程中要有选择地蚀刻薄膜所处的领域，样本，从更深层次的功能中的阴影的区域时受保护（6.2]。什么意思？中文翻译英文，英文翻译中文，怎么说？

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略有不同的方法使用放牧的角度离子束bombardmeni选择性蚀刻，沉积过程中沉积的薄膜样品的顶部区，而更深层次的功能内的阴影区域的保护（6.2]。

稍有不同的方法使用放牧角度离子束 bombardmeni 在沉积过程中要有选择地蚀刻薄膜所处的领域，样本，从更深层次的功能中的阴影的区域时受保护（6.2]。

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稍有不同的方法使用放牧角度离子束 bombardmeni 在沉积过程中要有选择地蚀刻薄膜所处的领域，样本，从更深层次的功能中的阴影的区域时受保护（6.2]。

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