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AB使表面上重排沉积原子或原子从表面去除沉积在离子轰击。
AB 利用任一重排存放离子轰击原子的表面或从表面原子在沉积过程中的移走。
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AB 利用任一重排存放离子轰击原子的表面或从表面原子在沉积过程中的移走。
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