The unwanted metal between the photoresist-protected lines is then etched away using a technique known as reactive ion etching (RIE), in which chemically active ions, such as Fl~ or Cl~, bombard the surface and form volatile metal flu?orides or chlorides, which are then pumped away in the vacuum sys的翻译：光刻胶保护线之间的有害的金属然后蚀刻掉在哪些化学活性的离子，如 Fl 使用称为反应离子刻蚀 (反应离子刻蚀）的技术 ~ 或 Cl ~、炮轰表面和形成挥发性金属 flu?orides 或氯化物，然后在真空系统中去抽运的。什么意思？中文翻译英文，英文翻译中文，怎么说？

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使用反应离子刻蚀（RIE），其中化学活性离子，如佛罗里达州或CL??，轰击表面，并形成挥发性的金属感，?orides或一种技术称为光刻胶保护线之间的有害金属，然后蚀刻掉氯化物，然后抽真空系统。

光刻胶保护线之间的有害的金属然后蚀刻掉在哪些化学活性的离子，如 Fl 使用称为反应离子刻蚀 (反应离子刻蚀）的技术 ~ 或 Cl ~、炮轰表面和形成挥发性金属 flu?orides 或氯化物，然后在真空系统中去抽运的。

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